硅的物理性质：有灰色金属光泽，密度为: （ ）-（ ） g/cm³，熔点为： （ ）℃ ；
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填空2 ____________
填空3 ____________
多晶硅主要涉及物料有： （ ） 、 （ ） 、 （ ） 、 （ ） ；
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氢气的物理性质无色无味，密度比空气密度 （ ），氢气的爆炸极限为：（ ）%--（ ）%
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多晶硅生产中TCS化学方式为： （ ） ，其物理性质为无色透明液体，在空气中易与水反应产生氯化氢，并带有刺激性味道
STC化学方式名称为： （ ） ，外观无色液体，有刺激性气味，易潮解
氯化氢气体（ ），无色有刺激性气味，极易溶于（ ） ，溶液俗称盐酸
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尾气回收装置主要是根据回收尾气的（ ）性质，进行冷凝、分离、回收
生产多晶硅棒的设备为： （ ） ，其中我们厂目前主要有 （ ） 、 （ ） 、 （ ） 三种类型设备
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尾气回收涉及的主要设备有：（ ） 、 （ ） 、（ ） 、 （ ）。
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精馏工序分为冷氢化精馏、还原精馏、回收精馏、反歧化精馏、罐区五大部分；
精馏罐区球罐共计15个，有2000m³、650m³、400m³三种规格分别用来存储四氯化硅、原料三氯氢硅、高纯三氯氢硅、回收氯硅烷等物料
请写出还原工序的主要化学方程式：
氢还原： ____________
热分解： ____________