单晶炉典型故障维修总结培训

部门、工号、姓名

32#隔离时隔离阀串气严重无法充开副室，调节隔离阀行程后无效果，怀疑隔离阀内部有异常，拆下（      ）查看内部轴承及固定支撑块，发现隔离阀固定支撑块松动。

分析异常原因： 隔离阀来回开关振动导致固定支撑块螺丝松动，密封不住。

跟踪结果与反馈：  恢复后，跟踪炉台运行情况，停炉检查所有密封圈及翻板阀螺丝。