半导体行业中的喷淋系统-220511

欢迎参加本次考试,祝你考得好成绩
喷淋系统是()方式。
直排水
循环水
喷淋系统在晶圆厂的用途是加湿和()
洗涤空气
降温
喷淋系统的主要部件由()组成(多选题)
循环泵组(电机+泵)
前、(中/如果有)、后挡水板
喷嘴及管道
电柜及电仪部件等
喷淋系统循环水的电导率值越高,则()
AMC滤除效果越好
AMC滤除效果越差
喷淋系统的循环水槽的段长均为()
约3米
约2米
喷淋系统因为使用的是纯水,不需要维保,节约了维保成本。
喷淋系统的运维成本主要集中在()-多选题
循环泵组的耗电量
挡水板的阻力导致空调电机耗电
纯水补水
清洁、消杀等维保
冬季到访某晶圆厂,设备运行稳定,车间内温湿度值正常,实时循环水电导率值达到了100us/cm,将有可能导致( ),可以推荐客户( )——2个答案
加湿不足
饱和效率低
加湿效率低
AMC(氨根离子)再次挥发
测量喷淋前后AMC浓度
测量喷淋前后温湿度
测量喷淋前后PM2.5
听到某客户介绍现场情况:采用的是MAU+DCC+FFU的系统,其中DCC是指?
全新风空调机组
组合式空调机组
内循环空调机组
干盘管
VHRAMC滤除效率比传统喷淋系统高的原因是()
气液接触面积更大
直排水,持续用洁净的水洗涤空气
直排水,不会再次挥发
不需要水质控制,更稳定

10题 | 被引用0次

使用此模板创建