拉晶车间设备安全操作规范及应急预案

部门、工号、姓名

应急状态时氩气流量系统自动设置为60slpm，节流阀开度值为40%。

漏硅的判断：①液面位置下降。②炉压升高。③炉底、电极或抽气管道超温报警。

炉台故障时需要切换到应急模式(手动状态)，只需要切手动，其他不操作。（ ）

单台单晶炉水流量低报警，只检查水管有无破损的，其它的不看。（ ）

应急切换开关打至应急状态，此时PLC启动警报器，单晶炉系统完全通过应急操作控制，将应急切换开关打回自动可恢复触摸屏控制。（ ）