京运通单晶炉集控离线处理方法

部门、工号、姓名

京运通单晶炉集控离线故障类型分（    ）种。

京运通单晶炉集控离线硬件故障一般是（    ）损坏。

京运通单晶炉集控离线软件故障一般是（ ）情况。