拉晶车间设备安全操作规范及应急预案

部门、工号、姓名

切应急前，V1阀打到（    ）位置

炉台故障恢复后切换到自动模式时打开V1阀的条件要冲氩气至（    ）torrw

漏硅的判断为（          ）、炉压升高、超温报警。