EGIS长边报警角落碎片，短边拍图无异常，一般与（）关系较大
（）工序测量膜边后Index关门前L/L需要Abort做Unload
Port口碎片，确认本工序Index相关性，同时邀请（）科室与前工序共同关注
PVX机台长边报警Index停留较久未做Load/Unload易导致（）
Cu PT（TFT）SP
SD Remain（P） Circle
AT Invisible TE
AT False TE
月保时，需查看Robot取片时TR Clamp与Glass的距离
Port口碎片时仅需对碎片卡夹检查清洗加测PI，其余port口卡夹可直接flow
L/L报警Clamp超时，需确认Glass有无碎片和偏移现象
ATM Robot急停需确认Glass在手臂上位置有没有偏移再决定是否继续恢复手臂进行下一步动作
HDC有碎片风险需要退片时，可将Glass退到INCV，手动操作Robot将Glass取出放回卡夹
交换片失败报警需仔细确认Glass信息和实物是否对的上，假信息删除后设备恢复Auto前需再次确认Glass是否是全的，防止误删其它Glass信息
Fishboon UP/Down气管拔掉手臂会自然下垂导致fork上Glass掉落，操作时需保证设备内部没有玻璃
PVX长边报警，Index停留较久需要在恢复Index前Abort L/L，退片后执行3-5遍Load/Unload
ATM Switch损坏导致ATM sensor常亮，LL无法正常监控大气压，会导致LL在没有达到大气压就开门导致碎片
Vacuum Robot长时间未注油或注油方法不对会导致手臂运动卡顿导致碎片