单晶炉常见故障处理方法

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部门、工号、姓名

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抽空困难、泄露过大，原因是什么？

A.炉内干燥

B.防爆阀密封圈完好

C.磁流体可能漏气

晶体划弧原因？

A.重锤摆动

B.炉底水平对中有偏差

C.氩气流量不均

不是真空泵的故障是？

A.抽空极限低

B.主泵声音异常

C. 真空泵卡死

晶体氧化原因?

A.炉体漏水

B. 氩气纯度高

C.炉内潮

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