1 ito设备宕机停留超过（）min 需要进行recovery排片并补镀
mask工序开始的decap，用时超过多久需要进行全卡rework?
以下关于Sputter测试Rs SPC Alarm描述错误的是：
A.OOS：均一性超出Spec范围
B.SRO：单点超出Spec上下限
C.OOC：Uniformity或者单点超出控制线上下限
D.SPC：Sputter RS测试控制
HDC药液清洗作业，以下哪个关于作业规范描述是错误的？
A.作业前需要准备A级防化服
B.稀释药液需要2人以上作业
C.清洗后需要更换swr1/2 DIW filter
D.复机前完成HDC传片5卡以上
基础的冷井点检可以从外部听冷井活塞的声音是否存在异响来判断冷井是否异常
HDC检查Tilting Up高度与AP单元Shaft平齐，运动时是否存在卡顿，运动时间是否在Speac内(两侧相差不能超过1S)