LAM Excel 机型的ATM Robot arm 抓取wafer 的方式是（）
LAM Excel 机型的Load lock 进/出片逻辑是（）
LAM Excel 机型中，反应完的wafer在（）冷却
下层Load lock
上层Load lock
Cooling Station
ATM Robot
LAM Excel 机型的上下Load lock 晶圆托持机构分别是（）
fix pin/bracket
bracket/bracket
bracket/fix pin
fix pin/fix pin
4-Station 的Process chamber，产出的晶圆（）指标较好
LAM Excel 机型的VTM Robot arm 抓取wafer 的方式是（）
LAM Excel 机型的Heater 可以上下做动
LAM Excel 机型通过RF Match 将 RF Power 分配给4个Station
LAM Excel 机型不使用Chiller，只使用PCW