在 Yaskawa 124 手操器轴坐标定义中,“TH 轴” 对应的是( )
LNK 坐标模式的启用条件是( )
所有 Cassette 工位均使用 LNK 模式
Gb 位手指中线经过手臂旋转轴心时使用 LNK,其余工位用 LNR
所有 Load lock 工位均使用 LNK 模式
取片工位用 LNK,放片工位用 LNR
12寸标准FOUP Upward Offset(向上偏移量)的默认参数值为( )
3.0 mm
3.5 mm
-82.0 mm
345.0 mm
3LPSorter,手臂在LP2正后方,则LP2运动模式为( )
下手指取片时 G3 位置未感应到晶圆,手臂将触发的报警是( )
放片轨迹中 P2 点位的动作是( )
放片准备到位
关闭真空并确认压力传感器状态
下降到放片位
放片完成退回
LNK 工位的 Gb 位置坐标下,当前取片手指角度 H 的值应为( )
真空式取片轨迹中,开启真空(suction on)动作对应的点位是( )
124真空手臂本体的VAC需求是()
A.0.21~0.22Mpa , 40L/min
B. -80~ -70 Kpa , 20L/min
C.-80~ -70 Kpa , 40L/min
D.0.21~0.22Mpa , 20L/min
取片流程 G3→G4 执行过程中,下手晶圆被意外丢失,系统将触发的报警是( )
2LP机台124手臂下手指示教LP1,JOG界面应切换为()
A. AWAY A
B.AWAY B
C.A AWAY B
D.B AWAY A
手指安装map sensor后放大器光强为340,则阈值应设定为 ( )
原装的夹持手臂对晶圆直径的兼容范围是()
A.300±0.5
B.300±1
C.300±1.5
D.300±2
LNR 坐标模式适用于 Gb 位手指中线经过手臂旋转轴心的工位。( )
Downward Offset(向下偏移量)的默认参数值为 3.5 mm。( )
执行原点位置移动指令时,机械臂会直接运动到所有轴的零位置。( )
EX 伸展轴的 Extension length > 0 时,代表机械臂向内收回。( )