1.总气源压力值在0.4-0.8MPa范围内
.准备好工具物料
2.佩戴好个人防护用品
3.确认机台工艺结束，舟内硅片清空
4.将自动化及主机切换为手动状态，周围摆放警示牌、警示带并用停机牌，锁具执行挂牌上锁
5.点击加热按钮，关闭所有腔体的加热，进行降温
人员穿戴需求：防静电工作服、防砸鞋、PVC手套、无纺布口罩、防护帽
2.工具准备：红外热成像仪
3.设备检查：检查红外热成像仪的镜头是否有损坏，是否有污渍。检查参数设置：测温范围为自动切档，发射率为1.00，调色板为三色状态，中心点要勾选。
4.拍摄要求：拍摄多个同型号的端子/元器件时，选取最高温度的端子/元器件，保存数据。
5.必须严格按照SOP顺序进行拍摄！
6.在拍摄过程中，若发现异常情况（如设备报警、图像异常等），立即停止拍摄，及时处理。并反馈给工序主管
1.维护与维修、拆除，移动等维修工作，此工作可能导致职工受到意外伤害时，必须执行上锁挂牌程序，应对所有识别的隔离点进行上锁挂牌。
2.上锁对机台确保控制的设备在取下锁之前不会被意外的启动。
3.当维修工作需要持续到下一班时，上一班人员与下一班人员交接，下一班人员用自己锁具和停机牌替换掉上一班的锁具和停机牌，并返回工作地点， 检查设备是否已完全上锁挂牌，方可继续修理。
4.双人作业是需正确穿戴劳保维修，（涉及特殊作业，需穿戴对应防护用品）
5.人员禁止倚靠机台