双良硅材料(包头)有限公司 单晶作业试卷
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Q5:1.单晶炉主要可以分为机械部分和电器部分,其中机械部分包括()
A.热系统、氩气系统、真空系统、液压系统、冷却系统、炉体系统
B.动力系统、氩气系统、真空系统、冷却系统、液压系统、机械系统
C.热系统、氩气系统、机械系统、冷却系统、液压系统、炉体系统
D.动力系统、氩气系统、真空系统、冷却系统、重力系统、炉体系统
Q6:2.主炉室与副炉室的作用是()
A.保护现场、通风透气
B.降低温度、控制大小
C.容纳热场、容纳晶棒
D.以上都对
Q7:3.热场安装的顺序是()
A.由上到下
B.由左到右
C.由里到外
D.由下到上
Q8:4.热场底加距与器盖距的距离()
A.35mm;35mm
B.35±5mm;35±5mm
C.32±5mm;32±5mm
D.35mm;32mm
Q9:5.热场底加距的定义()
A.底部压板到底加热器上沿的距离
B.底加热器到主加热器下沿的距离
C.底部压板到底加热器下沿的距离
D.底加热器到主加热器上沿的距离
Q10:6.器盖距的定义()
A.主加热器上沿到过渡环下沿的距离
B.主加热器下沿到过渡环上沿的距离
C.主加热器上沿到过渡环上沿的距离
D.主加热器下沿到过渡环下沿的距离
Q11:7.坩埚上限位的数值为()
A.35mm
B.25mm
C.30mm
D.以上都不对
Q12:8.坩埚零位的定义()
A.坩埚下沿与主加热器下沿齐平的位置
B.坩埚上沿与主加热器下沿齐平的位置
C.坩埚下沿与主加热器上沿齐平的位置
D.坩埚上沿与主加热器上沿齐平的位置
Q13:9.坩埚上限位的定义()
A.埚邦下沿至外导流筒支撑环的距离
B.埚邦上沿至外导流筒支撑环的距离
C.埚邦下沿至内导流筒支撑环的距离
D.埚邦上沿至内导流筒支撑环的距离
Q14:10.坩埚下限位的定义()
A.托杆托盘上沿至底加热器上沿的距离
B.托杆托盘下沿至底加热器上沿的距离
C.托杆托盘上沿至底加热器下沿的距离
D.托杆托盘下沿至底加热器下沿的距离
Q15:11.坩埚下限位的数值为()
A.30mm
B.32mm
C.20mm
D.35mm
Q16:12.副室高度为()
A.4500mm
B.6500mm
C.5500mm
D.5000mm
Q17:13.晶体硬上限连城、晶盛分别为()
A.6200mm;6300mm
B.6350mm;6250mm
C.6500mm;6350mm
D.6250mm;6350mm
Q18:14.原生多晶硅颜色是()
A.钢灰色
B.蓝色
C.紫色
D.黑色
Q19:15.原生多晶硅的熔点()
A.1426±6℃
B.1416±4℃
C.1418±4℃
D.1461±6℃
Q20:16.原生多晶硅的固态密度与液态密渡分别为()
A. 2.23克/厘米³;2.74克/厘米³
B.2.33克/厘米³;2.64克/厘米³
C.2.23克/厘米³;2.45克/厘米³
D.2.33克/厘米³;2.54克/厘米³
Q21:17.1吋等于()
A.25.5mm
B.26.4mm
C.25.4mm
D.26.4mm
Q22:18.1Torr等于()
A.138.32Pa
B.134.33Pa
C.133.33Pa
D.132.33Pa
Q23:19.合炉时热屏升至()坩埚降至()
A.上限位;上限位
B.下限位;下限位
C.上限位;下限位
D.下限位;上限位
Q24:20.石英埚抽空标准:压力在()MPa静止保持()min,并且压力无变化
A.-0.06-0.1;6
B.-0.08 -- -0.1;5
C.-0.06-- -0.1;5
D.-0.08- -0.1;6
Q25:21.确认坩埚与埚邦的距离前后左右四点高度偏差()
A.<6mm
B.>3mm
C.<3mm
D.>6mm
Q26:22.抽空时打开主泵()进行预热,器作用是()
A.10min;防止主泵卡死
B.5min;防止主泵卡死
C.15min;防止主泵卡死
D.以上都不对
Q27:23.主加热器电阻范围()底加热器电阻范围()
A.23±3mΩ;25±3mΩ
B.25±3mΩ;25±2mΩ
C.25±3mΩ;23±3mΩ
D.23±2mΩ;25±2mΩ
Q28:24.提渣确认项:未熔料块径向尺寸在()mm左右开始粘渣。要求:籽晶下端粘在未熔料块的()附近并粘接牢固,形状为(),重量为()
A.20mm;中心;方形;1-1.5KG
B.200mm;中心;锥形;1-1.5KG
C.200mm;侧面;菱形;1-1.5KG
D.20mm;侧面;锥形;1-1.5KG
Q29:25.剪渣盖用钳子在距渣盖粘接处以上()左右细颈最细处剪断,防止烫伤的同时禁止敲击()
A.10mm;籽晶
B.20mm;渣盖
C.20mm;籽晶
D.10mm;渣盖
Q30:26.带料冷检:极限真空()漏率()
A.50mtorr;50morr/hr
B.50mtorr;30morr/hr
C.30mtorr;50morr/hr
D.20mtorr;30morr/hr
Q31:27.空炉抽空:极限真空(),漏率()
A.25mtorr;15morr/hr
B.20mtorr;10morr/hr
C.10mtorr;15morr/hr
D.15mtorr;20morr/hr
Q32:28.停炉热检:极限真空()mtorr,漏率()
A.15mtorr;35morr/hr
B.30mtorr;10morr/hr
C.30mtorr;15morr/hr
D.35mtorr;10morr/hr
Q33:29.熔料功率:主加热器(),底加热器()
A.110kw;85kw
B.105kw;80kw
C.105kw;90kw
D.110kw;90kw
Q34:30.熔料炉压:要求熔料是炉压()
A.≤11-13Torr
B.>11-13Torr
C.≥11-13Torr
D.<11-13Torr
Q35:31.外导流筒评审标准下沿有裂纹,裂纹长度(),且内外贯穿,退出使用
A.>30mm
B.≥30mm
C.≥35mm
D.>35mm
Q36:32.加料前检查加料器石英椎体()并且与加料器安装到位
A.无裂纹
B.无破损
C.无氧化物
D.无硅点
Q37:33.结晶片加料:结晶片放至与热屏下口()即可,防止结晶面过大,与坩埚壁粘连,造成()脱落,影响后续拉晶
A.不相同;晶体
B.垂直;埚壁
C.同大;涂层
D.平行;涂层
Q38:34.下降加料器前需将主底加热器功率设定为(),升温大于20min
A.大功率
B.小功率
C.热场功率
D.熔料功率
Q39:35.单晶棒直径标准:10吋(),12吋()
A.215±2mm;400±2mm
B.250±4mm;300±2mm
C.261±4mm;400±2mm
D.251±2mm;300±2mm
Q40:36.加料要求:加料过程中禁止给(),降();加料器炉内高温区域停留时间();最后一桶料装料量不得超过(),主加功率给至:();底加给至()
A.坩埚;温度;≤5min;50kg;60-90kw;70-80kw
B.埚转;功率;≤5min;60kg;80-90kw;70-80kw
C.坩埚;温度;≤10min;50kg;80-90kw;70-80kw
D.埚转;功率;≤10min;60kg;80-90kw;60-80kw
Q41:37.复投加料时间间隔要求:硅料预热到加第一桶料打开旋板阀时间间隔要求();每桶料加料时间间隔要求()
A.25-30min;30-50min
B.20-25min;35-65min
C.20-25min;35-40min
D.25-40min;35-50min
Q42:38.复投时间要求1min≤()≤2min;2.5min≤()≤3min
A.60kg;100kg
B.50kg;110kg
C.40kg;90kg
D.50kg;120kg
Q43:39.复投点动的次数()
A.8-10次
B.5次
C.3-10次
D.10次
Q44:40.隔离阀是单晶炉的主要部件之一,隔离阀的作用是()
A.隔离热场与炉体
B.隔离主室与副室
C.隔离炉内与炉外空气
D.隔离晶体与氧气
Q45:41.关于提渣和剪渣盖的操作,正确的是()
A.如果找不到老虎钳,为了节省工时,可以敲击籽晶。
B.佩戴高温手套、渣盖降至操作人员肩部齐平位置进行剪渣盖。
C.提渣完成后需要清理阀舱,使用吸尘管和吹风机吹扫,并用无尘纸蘸酒精清理2遍。
D.提渣不是必须进行的操作,根据原料情况决定。
Q46:42.若液面上有漂浮的渣滓或以前提渣盖上有明显渣滓,需进行()
A.放盖子吊渣
B.低压挥发
C.重新引放
D.提出50mm多晶
Q47:43.下面关于单晶合炉吊料操作描述正确的是()
A.炉台热场清理干净,具备合炉条件。且合炉所需热场已经拉至炉台边上。
B.装料炉台周边无拆装炉炉台即可,有无电焊等其他施工没关系,只要使用吸尘管清理好即可。
C.吊料小车提升装置上的挂钩无松动。
D.吸盘压力表显示抽空至负压0.08MP以下时,且静置5min后压力表无变化。
Q48:44.单晶炉炉底排气孔与()相连,以便于导出气流及氧化物
A.主真空管道
B.副真空管道
C.磁流体
D.坩埚提升结构
Q49:45.籽晶系统真空腔组件主要承载着钢丝的缠绕和()的功能
A.真空计
B.晶转、晶升
C.支撑称重组件
D.高温计
Q50:46.晶体中存在的缺陷有()
A.点缺陷
B.线缺陷
C.面缺陷
D.以上都对
Q51:47.确认炉内压力≥()托,处于大气压
A.750
B.730
C.740
D.760
Q52:48.预设引晶功率,引晶功率参考上炉满埚料成功引晶功率、拉速进行设置。液面温度一致性达到要求:连续3次引晶液面温度偏差 ( ) ℃内
A.±3
B.±2
C.±1
D.±0
Q53:49.拉晶时仅加热器跳闸,保持( ),将氩气阀门及主泵球阀打开,随时观察炉内情况及等经拉速
A.等径控制
B.热场控制
C.生长控制
D.液位控制
Q54:50.对籽晶、籽晶绳点检不到位开炉过程中籽晶、籽晶绳断裂会造成什么样的后果()
A.掉棒
B.火灾
C.爆炸
D.原料污染