单晶氧化维修方法

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Q1:部门、工号、姓名

填空1

Q2:晶体氧化发白会直接影响到成晶，严重可导致籽晶断裂，造成掉棒事故。当在运行中生产取完循环棒后，应及时对上述的一些漏点进行检查缩小影响。

是

否

Q3:生产加复投过程中旋阀仓后盖未盖好应检查（），重合后盖，抽空看副室是否保压

填空1

Q4:漏硅烫坏坩埚轴波纹管，埚转磁流体漏气应（）

填空1

单晶氧化维修方法

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