半导体行业中的喷淋系统-220511 - 在线考试测评模板

半导体行业中的喷淋系统-220511

欢迎参加本次考试，祝你考得好成绩

Q1:喷淋系统是（）方式。

直排水

循环水

Q2:喷淋系统在晶圆厂的用途是加湿和（）

洗涤空气

降温

Q3:喷淋系统的主要部件由（）组成（多选题）

循环泵组（电机+泵）

前、（中/如果有）、后挡水板

喷嘴及管道

电柜及电仪部件等

Q4:喷淋系统循环水的电导率值越高，则（）

AMC滤除效果越好

AMC滤除效果越差

Q5:喷淋系统的循环水槽的段长均为（）

约3米

约2米

Q6:喷淋系统因为使用的是纯水，不需要维保，节约了维保成本。

是

否

Q7:喷淋系统的运维成本主要集中在（）-多选题

循环泵组的耗电量

挡水板的阻力导致空调电机耗电

纯水补水

清洁、消杀等维保

Q8:冬季到访某晶圆厂，设备运行稳定，车间内温湿度值正常，实时循环水电导率值达到了100us/cm，将有可能导致（），可以推荐客户（）——2个答案

加湿不足

饱和效率低

加湿效率低

AMC(氨根离子）再次挥发

测量喷淋前后AMC浓度

测量喷淋前后温湿度

测量喷淋前后PM2.5

Q9:听到某客户介绍现场情况：采用的是MAU＋DCC＋FFU的系统，其中DCC是指？

全新风空调机组

组合式空调机组

内循环空调机组

干盘管

Q10:VHRAMC滤除效率比传统喷淋系统高的原因是（）

气液接触面积更大

直排水，持续用洁净的水洗涤空气

直排水，不会再次挥发

不需要水质控制，更稳定