Yaskawa-124 晶圆搬运机器人技术考核试卷

考试时间：30分钟，满分：100分，文档版本：V1.0。请仔细阅读题目，按要求作答，祝您考试顺利！

Q1:姓名

填空1

Q2:在 Yaskawa 124 手操器轴坐标定义中，“TH 轴” 对应的是（）

旋转轴

伸展轴

手指角度轴

高度轴

Q3:LNK 坐标模式的启用条件是（）

所有 Cassette 工位均使用 LNK 模式

Gb 位手指中线经过手臂旋转轴心时使用 LNK，其余工位用 LNR

所有 Load lock 工位均使用 LNK 模式

取片工位用 LNK，放片工位用 LNR

Q4:取片轨迹中，G1 点位的定义是（）

取片准备位

真空开启位

压力确认位

取片完成位

Q5:12寸标准FOUP Upward Offset（向上偏移量）的默认参数值为（）

3.0 mm

3.5 mm

-82.0 mm

345.0 mm

Q6:3LPSorter，手臂在LP2正后方，则LP2运动模式为（）

LNK

LNR

Q7:下手指取片时 G3 位置未感应到晶圆，手臂将触发的报警是（）

BA0

BB0

B80

无报警

Q8:放片轨迹中 P2 点位的动作是（）

放片准备到位

关闭真空并确认压力传感器状态

下降到放片位

放片完成退回

Q9:LNK 工位的 Gb 位置坐标下，当前取片手指角度 H 的值应为（）

0°

45°

90°

180°

Q10:真空式取片轨迹中，开启真空（suction on）动作对应的点位是（）

G1

G2

G3

G4

Q11:124真空手臂本体的VAC需求是（）

A.0.21~0.22Mpa , 40L/min

B. -80~ -70 Kpa , 20L/min

C.-80~ -70 Kpa , 40L/min

D.0.21~0.22Mpa , 20L/min

Q12:取片流程 G3→G4 执行过程中，下手晶圆被意外丢失，系统将触发的报警是（）

B80

BA0

B90

BB0

Q13:2LP机台124手臂下手指示教LP1,JOG界面应切换为（）

A. AWAY A

B.AWAY B

C.A AWAY B

D.B AWAY A

Q14:手指安装map sensor后放大器光强为340，则阈值应设定为（）

A.600

B.680

C.170

D.300

Q15:原装的夹持手臂对晶圆直径的兼容范围是（）

A.300±0.5

B.300±1

C.300±1.5

D.300±2

Q16:LNR 坐标模式适用于 Gb 位手指中线经过手臂旋转轴心的工位。（）

正确

错误

Q17:放片轨迹中，P4 点位代表放片完成位置。（）

正确

错误

Q18:Downward Offset（向下偏移量）的默认参数值为 3.5 mm。（）

正确

错误

Q19:执行原点位置移动指令时，机械臂会直接运动到所有轴的零位置。（）

正确

错误

Q20:EX 伸展轴的 Extension length 0 时，代表机械臂向内收回。（）

正确

错误

Q21:工位微调可以同时用LNR、和LNR模式

是

否

Yaskawa-124 晶圆搬运机器人技术考核试卷

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